フォトマスクは用途に応じてレチクル、ワーキングマスクなどいくつかの呼称があります。
弊社では、それぞれを下記の通り定義しています。
ステッパー／スキャナー（ステップ＆リピート露光方式）でウェハに回路パターンを転写するためのフォトマスクです。
各種ステッパーに対応しています。回路パターンは使用するステッパーのレンズ縮小倍率によって複数種類の倍率があります。
アライナーで使用するためのマスクです。フォトマスクとウェハをコンタクトしないで露光するミラープロジェクションアライナーなどで使用されます。
フォトマスク種類の違いにより、対応可能なサイズや基材ガラスが下記のように異なります。
| マスクの種類 | 遮光膜 | マスク サイズ |
ガラス 基板 |
ペクリル 有無 |
用途 | パターン倍率 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| レチクル | 2層クロム （Binary） |
5" , 6" | 石英 | 有or無 | ステップ＆リピート方式の露光装置 （ステッパー/スキャナー） |
5×,4×,2.5×, 2×,1×, |
| ワーキングマスク | ～9" | 石英 or ソーダライム |
一括露光方式の露光装置 （アライナー） |
1× |
日本フイルコンでは、現在使用される凡そ全てのマスクサイズに対応しております。
下記に掲載されている基板は一般的な半導体規格に準じたものですが、ガラスを切り出すことで規格外の大きさへの切り出しも対応可能です。
10" 以上のサイズも取り扱っており、最大813mm×813mmまで対応します。詳しくは、大板マスクのページをご覧下さい。
| サイズ | 板厚 | 0.06" | 0.09" | 0.12" | 0.15" | 0.18" | 0.20" | 0.25" |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 辺長 | mm | 1.52 | 2.30 | 3.05 | 3.80 | 4.60 | 5.00 | 6.35 |
| 4" | 101.2 | 4006 | 4009 | --- | --- | --- | --- | --- |
| 5" | 126.6 | 5006 | 5009 | --- | --- | 5018 | --- | --- |
| 6" | 152.0 | --- | 6009 | 6012 | --- | --- | --- | 6025 |
| 7" | 177.4 | --- | --- | 7012 | 7015 | --- | --- | --- |
| 9" | 228.6 | --- | --- | 9012 | --- | --- | 9020 | 9025 |
| UT | --- | 3"x 5" | --- | --- | --- | --- | --- | |
| others | --- | --- | --- | 7.25R | --- | --- | --- |
※10"～813mm×813mmも取り扱います
タテ・ヨコのラインをベースにした場合で、最小0.5µmのライン＆スペースまで対応しております。
実際には、マスクサイズ等により解像可能な線幅が異なりますので、デザイン確認後、可否を回答させて頂いております。
| マスクタイプ | レチクル、ワーキング・マスク |
|---|---|
| 露光方法 | レーザー描画 |
| 最小線幅 | 0.5µm ～ |
| 線幅精度 | ±0.05µm ～ |
| 位置精度 | ±0.05µm ～ |
| 欠陥検査規格 | 0.5µm以上 0個 ～ |
