特殊用途フォトマスクのご紹介

FILCON PHOTOMASK

特殊用途フォトマスク

特殊用途フォトマスク

  • 高解像度 (バイナリー限界、位相シフト)
  • 計測値較正 (寸法補正、国家標準準拠)
  • 成膜光学濃度可変 (透過率コントロール、高OD)
  • 露光波長対応、ハイパワー光源対応
Cr on QZ (dry profile)

Cr on QZ (dry profile)

光学系フィルター部品

濃度調整 / 回折格子 / 基準目盛 / ピンホール

日本フイルコンが選ればれる理由

  • フォトマスクメーカーだからこそ実現できる、高精度加工が可能です。
  • どんなパターンにも対応可能です。
  • プレートは1~9インチまで、加工精度に応じて選択が可能です。
  • オーダーメイドなデザインで1枚から承ります。
  • ご要望に応じて、BPFやAR成膜も可能です。

プレートと加工寸法

プレート 基板材質 成膜種 限界加工寸法 加工公差 位置精度
1~4 inch □(裁断) 石英 クロム、特殊膜 600nm ±60nm ±70nm
5 inch □ 石英 クロム、特殊膜 600nm ±60nm ±70nm
6 inch □ 石英 クロム、特殊膜 200nm、400nm ±20nm、±40nm ±50nm
7 inch □ 石英 クロム 700nm ±100nm ±150nm
9 inch □ 石英 クロム 700nm ±100nm ±150nm
大版 石英 クロム ご相談 ご相談 ご相談

All on MASK

)プレート、材質、寸法、公差、位置精度には、組み合わせによる制約がございます。詳細はご相談下さい。

)出荷形状は、正方、長方、円形などから選択が可能です

お電話からのお問い合わせ・ご相談は 日本フイルコン フォトマスク事業部 営業部まで 042-378-4141 【受付】9:00-18:00(土・日祝日 休み)
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