フォトマスク、コピーマスクの製造工程

FILCON PHOTOMASK

熟練した技術とノウハウの蓄積が高品質とハイスループットを実現します。

フォトマスクの製造工程

CAD 工程、描画&プロセス工程、検査&測定工程、洗浄工程、ペリクル工程から構成されており、以下、工程順に説明します。

フォトマスクの製造工程図
  1. CADデータとフォトマスク仕様書を受け取り後、製品仕様を確認して製作を開始します。
  2. お客様から頂いたデータは、CAD工程でパターンチェックされた後、データもしくはPDFなどの形式でお客様にて検図していただきます。
  3. 承認後、製造ラインへ進みます。レチクル・マスターなどの描画工程かコピーのプリンター工程に進みます。
  4. プロセスでは、現像~エッチング~レジスト剥離~洗浄~乾燥までの一連の作業を行います。
  5. パターンの寸法測定と外観検査を行います。
  6. レチクルの一部はペリクルを貼らずに洗浄工程へ、マスターとコピーは全て洗浄工程へ進みます。
  7. ペリクルを貼り付け、直後に異物検査をします。
  8. 仕様・規格・表面検査等、最終チェックをします。
  9. 梱包・出荷
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品質重視の製造工程。フォトマスク、コピーマスク、813mm×813mmまでの中大型マスクは日本フイルコンへ

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