導波路、PLC、AWG用のフォトマスクのご紹介

FILCON PHOTOMASK

光デバイス(オプト)

光デバイス(オプト)

通信用インフラやLED 市場など、光半導体の市場も、今後よりいっそうの拡大が見込まれています。光デバイスは、対象品種により、 コスト、導波路特性など、求められる特徴が異なりますが、そのどれにも対応できるバリエーションを用意しております。

【対応デバイス】

青紫色レーザー / 緑色レーザー / ミリ波レーザー / 光ピックアップ / フォトダイオード / フォトIC / AWG,PLC など導波路系デバイス / 白色LED / etc

日本フイルコンが選ればれる理由

  • コスト競争力のあるコピーマスクに対応しています。
  • 光導波路の実績が多数あります(AWG,PLC など)。
    デバイス特性を出す上で何が重要かを私たちは、把握しています。
  • レーザー、フォトIC など、光デバイス業界の主要メーカーの実績が多数あります。
  • 熟練した技術者がお客様の問題にいつでも挑戦します。
光デバイスイメージ写真

先端部ø1um
シャープな斜線

【マスクの規格】

基盤 材質 倍率
2.5×2.5×0.06/0.09inch ソーダライム
または石英
3×3×0.06/0.09inch
4×4×0.06/0.09inch
5×5×0.06/0.09inch

その他各種基板に対応

最小寸法 最小寸法保証 位置精度 欠陥保証精度
1µm ±0.1µm ±0.1µm~ 1µm以上 0個
お電話からのお問い合わせ・ご相談は 日本フイルコン フォトマスク事業部 営業部まで 042-378-4141 【受付】9:00-18:00(土・日祝日 休み)
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導波路、PLC、AWG用のフォトマスクは日本フイルコンへ

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