解像力チャートやロンキールーリングなど、半導体露光用途以外のパターニング製品も承っております。
これらの製品も、通常のフォトマスクと同じプロセスで作成され、厳しい検査の後、出荷されます。
ガラス基板は膨張係数や透過率に優れた石英材を使用しております。
各種ガラス加工に対応していますので、1インチから800mm まで製作可能です。弊社のオリジナルチャートもご用意しております。
ロンキールーリング / 校正用チャート / 解像力チャート / キャリブレーションプレート / アパーチャー基板 等
基盤 | 材質 | 対応装置 |
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1×1inch | ソーダライム 石英 |
半導体用標準フォトマスク基板からガラスを切り出して、 ご要望どおりのサイズを製作いたします。 |
2×2inch | ||
3×4inch | ||
4×4inch | ||
5×5inch |
最小寸法 | 最小寸法保証 |
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0.5µm | ±0.05µm~ |