解像力チャートは日本フイルコンへ

FILCON PHOTOMASK

光学用チャート

光学部品向けチャート

解像力チャートやロンキールーリングなど、半導体露光用途以外のパターニング製品も承っております。
これらの製品も、通常のフォトマスクと同じプロセスで作成され、厳しい検査の後、出荷されます。
ガラス基板は膨張係数や透過率に優れた石英材を使用しております。
各種ガラス加工に対応していますので、1インチから800mm まで製作可能です。弊社のオリジナルチャートもご用意しております。

【製品例】

ロンキールーリング / 校正用チャート / 解像力チャート / キャリブレーションプレート / アパーチャー基板 等

日本フイルコンが選ればれる理由

  • フォトマスクメーカーだからこそ実現できる、高精度と短納期です
  • オリジナルチャート ご用意しております。
  • 0.5μmのラインから対応可能です。
  • プレートサイズは1インチから800mmまで。ガラス加工に対応していますので、ご要望をお申し付けください。
  • オーダーメイドなデザインで1枚から承ります
光学用チャートイメージ写真

各種チャートパターン

【マスクの規格】

基盤 材質 対応装置
1×1inch ソーダライム
石英
半導体用標準フォトマスク基板からガラスを切り出して、
ご要望どおりのサイズを製作いたします。
2×2inch
3×4inch
4×4inch
5×5inch

その他各種基板に対応

最小寸法 最小寸法保証
0.5µm ±0.05µm~
お電話からのお問い合わせ・ご相談は 日本フイルコン フォトマスク事業部 営業部まで 042-378-4141 【受付】9:00-18:00(土・日祝日 休み)
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解像力チャートは日本フイルコンへ

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