解像力チャートは日本フイルコンへ

解像力チャートやロンキールーリングなど、半導体露光用途以外のパターニング製品も承っております。
これらの製品も、通常のフォトマスクと同じプロセスで作成され、厳しい検査の後、出荷されます。
ガラス基板は膨張係数や透過率に優れた石英材を使用しております。
各種ガラス加工に対応していますので、1インチから800mm まで製作可能です。弊社のオリジナルチャートもご用意しております。

• フォトマスクメーカーだからこそ実現できる、高精度と短納期です
• オリジナルチャート　ご用意しております。
• 0.5μｍのラインから対応可能です。
• プレートサイズは１インチから800ｍｍまで。ガラス加工に対応していますので、ご要望をお申し付けください。
• オーダーメイドなデザインで１枚から承ります

各種チャートパターン