- フォトマスクメーカーだからこそ実現できる、高精度加工が可能です。
- どんなパターンにも対応可能です。
- プレートは～9インチ□のガラスから、100mmΦ～300mmΦのガラスやSiなど、加工精度に応じて選択が可能です。
- オーダーメイドなデザインで1枚から承ります。
- 3D形状も承ります（可能なディメンジョンに制限がございます）
| プレート | 材質 | 主要寸法 | 主要深さ |
|---|---|---|---|
| 1～4 inch □（裁断） | 石英 | 10µm | 10µm |
| 5～6 inch □ | 石英 | 30µｍ | 30µm |
| 7～9 inch □ | 石英 | 5µm | 5µm |
| 100～150mmφ | 石英、Si | 1µm | 1µm |
| 200mmφ | 石英、Si | 0.13µm | 0.13µm |
| 300mmφ | Si | 0.05μm | 0.05μm |
＊）プレート、材質、寸法、深さには、組み合わせによる制約がございます。詳細はご相談下さい。
