【QZ/Si】
【Film On QZ/Si】
- フォトマスクメーカーだからこそ実現できる、高精度加工が可能です。
- どんなパターンにも対応可能です。
- プレートは、加工精度に応じて選択が必要です。
- オーダーメイドなデザインで１枚から承ります。
| プレート | 基板材質 | 基板厚 | 成膜種 | 限界加工寸法 | 座標測定 |
|---|---|---|---|---|---|
| 150mmφ | Si | 625µm | 特殊膜 | 500nm | - |
| 200mmφ | 石英 | 700～1000µm | クロム、特殊膜 | 500nm | - |
| 200mmφ | Si | 725µm | 特殊膜 | 500nm | ○ |
| 200mmφ | 石英 | 700～1000µm | クロム、特殊膜 | 500nm | ○ |
| 300mmφ | Si | 775µm | 酸化膜 | 350nm | - |
All on Plate
＊）プレート、材質、寸法には、組み合わせによる制約がございます。詳細はご相談下さい。
