半導体用にもMEMS用にも適した日本フイルコンのフォトマスク

FILCON PHOTOMASK

FAQ

FAQ(よくあるご質問)

AutoCADのデータにも対応していますか?
はい。DXFデータやDWGデータも受け付けております。
ただし、マスクの描画データに変換いたしますので、
データ送付前に以下の注意事項をご確認いただいております。
DXFデータ作成時の注意事項
標準的な納期は何日ですか?
→標準で5日となります。
 
注文書、製品仕様書並びに設計データが揃った時点でご注文と致します。
作成前に検図を実施する場合はご注文後に1~2日程度お時間を頂きます。
標準的な納期は、検図を含め、ご注文後5日となります。
 
例えば、水曜日ご注文の場合で月曜日に製品到着となります。
 
→48時間サービスがあります
お急ぎの場合は、検図や検査を省略して48時間でお届けするサービスをご用意しております。
この場合は、例えば水曜日のご注文で金曜日にお届け致します。
データを出してからどのくらいで検図は届きますか?
大よそ24時間後の提出が目安になります。
ただし、納期に余裕がある場合は、到着までお時間がかかる場合があります。
フォトマスク基板で、石英ガラスとソーダライムガラスの違いはなんですか?
石英ガラス(QZ)は、フォトマスクの標準材質で、純度の高いSiO2で合成された特殊なガラスです。石英材は、熱膨張係数や透過率に優れております。
 
ソーダライムガラス(SL)は、低い温度で加工しやすいようにナトリウム、マグネシウムなどが合成されたガラスで通常の窓ガラスに近い物性をもっております。大板のフォトマスクや、ローコストでのフォトマスクをご希望の場合にお使いいただいております。
大きなマスクもやっていますか?
最大813mm×813mmまでのフォトマスクを取り扱っております。
詳しくはこちらをご参照下さい。
大版マスク等スペック表へ
どのようにして注文したらよいですか? 
ご発注には以下の三点が必要です。
・マスク仕様書
・設計データ
・ご注文書
 
詳しくは、ご発注の流れのページをご参照下さい。 →発注の流れへ
最小でどこまで細いパターンが対応可能ですか? 
フォトマスク上で最小0.5µmのライン&スペースまで対応しております。
ドット、斜め線、曲線などの場合は、ご相談下さい。
→フォトマスクスペック表はこちら
グレースケールにも対応していますか?
当社はバイナリーマスクのみ対応しております。
フイルムマスクやエマルジョンマスクはやっていないのですか?
製品によっては対応できる場合もあります。お気軽にご相談ください。
問合せページへ
円弧が多数あるマスクも作成可能ですか?
円弧が多数存在する場合、データ容量が莫大に大きくなる場合があります。
このような場合、データ処理時間がかかる関係上、マスク料金が高額になってしまう可能性があります。
あらかじめ御相談頂ければ、コスト面で出来るだけ有利になるよう弊社から提案をさせて頂きます。
容量が多いデータも送信できますか?
メールにデータを添付される場合は、弊社の受信サーバーでは、30M以下まで対応可能です。
ただし、受信の可否はお客様の送信サーバ制限も関係します。
 
データが大容量で、メールに添付できない場合は下記の方法をご検討下さい。
・ファイルを圧縮
・ファイルを分割し、それぞれについて圧縮
分割の方法はこちらをご参照下さい。
・FTPサーバで転送
ご連絡頂いた後、IPとパスワードをお送りいたします。
・CDやDVDメディアで郵送
検図は料金に含まれていますか?
はい。検図も料金に含まれております。
検図での確認作業も、フォトマスク製造工程の一部となっております。
 
検図は、お客様と弊社とで、フォトマスク完成イメージを共有するために行ないますので、設計データは、完成したものを出図願います。
弊社からの検図データ提出後に設計変更がある場合には、別途料金が発生する場合がございますのでご注意下さい。
御社はクロムの膜をつけて作成しているのでしょうか?
弊社では、ガラスにクロムとレジストの付いたもの(ブランクス)を購入しております。
膜付けについては、ブランクスメーカーにて行なっております。
成膜や光学濃度などについてご指定がある場合は、ご相談下さい。
古いマスクは残っているのですがデータをなくしてしまいました。
データ復元サービスを御参照下さい。
コピーマスクで使用した原版は露光に使えますか?
原版(マスターマスク)は、コピーマスクを製造するためのものですので、露光用途ににはご利用できません。
 
なお、原版(マスターマスク)は、回路パターンがコピーマスクに対して、左右ミラー反転した状態になっています。
 
原版は原則として、リピートのご注文に備えて、弊社で保管いたします。
(保管期間は3年間となります。)
今まで使っていた仕様書で提出しても大丈夫ですか?
はい。使用可能です。
 
実際には、多くのお客様に、弊社のオリジナルフォーマットをご利用頂いております。
初回記入時は営業担当が丁寧に説明させて頂いておりますので、お気軽にご相談下さい。
日本以外からでも発注できますか?
はい。海外からも多くのお客様にご利用いただいております。
日本以外からのアクセスの場合は、英語でお願いいたします。
演算にも対応できますか? 演算があるときはどのように記載したらよいですか?
はい。ブーリアン演算に対応しております。
演算式はこちらを御参照下さい。
お電話からのお問い合わせ・ご相談は 日本フイルコン フォトマスク事業部 営業部まで 042-378-4141 【受付】9:00-18:00(土・日祝日 休み)
  • WEBのお問い合わせご相談 お問い合わせフォームへ

MEMSに多い円形や斜め線に強いフォトマスク

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