MEMS用フォトマスク、ジャイロセンサ用フォトマスクのご紹介

FILCON PHOTOMASK

MEMS・電子部品

MEMS・電子部品

スマートフォンや省エネ化などの影響もあり、MEMS 市場も今後ますますの拡大が予想されています。MEMS 用のフォトマスクには、 大基板や不規則な形状など、半導体用とは異なる特徴がありますが、日本フイルコンはそのようなパターニングを最も得意としています。

【対応デバイス】

ジャイロセンサ / 加速度センサ / 圧力センサ / 角度センサ / プローブカード / インクジェットプリンタヘッド / HDD 磁気ヘッド / CCD,CMOS センサ / SAW フィルタ / 水晶デバイス / ノイズフィルタ / etc

日本フイルコンが選ればれる理由

  • 高性能レーザー描画機で高精度な斜め線、円が描画可能です。
  • MEMS 業界の主要メーカーの実績が多数あります。
  • 半導体用と同じ高精度な装置で7.25R や9インチマスクも対応可能です。
    (これらは世界トップレベルの精度を誇っています。)
  • 熟練した技術者が貴社の問題にいつでも挑戦します。
MEMSイメージ写真

当社ロゴマーク
なめらかな曲線とシャープな
先端部分をご覧下さい

【マスクの規格】

基 盤 材 質 倍 率 対応装置
7×7×0.12inch ソーダライム
石英
SUSS, EVG, UNION OPTICAL, USHIO, AZORES, Ultratech, etc.
7.25R×0.15inch
9×9×0.12/0.2inch

その他各種基板に対応

最小寸法 最小寸法保証 位置精度 欠陥保証精度
1µm ±0.1µm ±0.1µm~ 1µm以上 0.1個/cm2
お電話からのお問い合わせ・ご相談は 日本フイルコン フォトマスク事業部 営業部まで 042-378-4141 【受付】9:00-18:00(土・日祝日 休み)
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MEMS用フォトマスク、ジャイロセンサ用フォトマスクは日本フイルコンへ

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