スマートフォンや省エネ化などの影響もあり、MEMS 市場も今後ますますの拡大が予想されています。MEMS 用のフォトマスクには、 大基板や不規則な形状など、半導体用とは異なる特徴がありますが、日本フイルコンはそのようなパターニングを最も得意としています。
ジャイロセンサ / 加速度センサ / 圧力センサ / 角度センサ / プローブカード / インクジェットプリンタヘッド / HDD 磁気ヘッド / CCD,CMOS センサ / SAW フィルタ / 水晶デバイス / ノイズフィルタ / etc
- 高性能レーザー描画機で高精度な斜め線、円が描画可能です。
- MEMS 業界の主要メーカーの実績が多数あります。
- 半導体用と同じ高精度な装置で7.25R や9インチマスクも対応可能です。
（これらは世界トップレベルの精度を誇っています。） - 熟練した技術者が貴社の問題にいつでも挑戦します。
当社ロゴマーク
なめらかな曲線とシャープな
先端部分をご覧下さい
| 基 盤 | 材 質 | 倍 率 | 対応装置 |
|---|---|---|---|
| 7×7×0.12inch | ソーダライム 石英 |
1× | SUSS, EVG, UNION OPTICAL, USHIO, AZORES, Ultratech, etc. |
| 7.25R×0.15inch | |||
| 9×9×0.12/0.2inch |
| 最小寸法 | 最小寸法保証 | 位置精度 | 欠陥保証精度 |
|---|---|---|---|
| 1µm | ±0.1µm | ±0.1µm～ | 1µm以上 0.1個/cm2 |
