TFT用フォトマスク、有機EL用フォトマスク、タッチパネル用フォトマスク、ムラのないフォトマスクのご案内

FILCON PHOTOMASK

ディスプレイ

ディスプレイ

スマートフォン、タブレット等の小型端末デバイスは、今や人間の生活に必須のアイテムです。私たちのフォトマスクは TFT-LCD, AMOLED (有機EL), タッチパネル用途に利用されています。これらは非常に繊細なパターンにより構成されていますが、当社所有の描画機でパターンニングすることで、ムラがなく、ラインが滑らかで、位置精度の優れたフォトマスクを製作することができます。

【対応デバイス】

中・小型TFT-LCD パネル/ 有機EL ディスプレイ/ 電子ペーパー/ 静電容量式タッチパネル/ etc

日本フイルコンが選ばれる理由

  • ムラ低減の技術があります。
  • コスト競争力があります。
  • 各種大板マスクに対応しています。
  • 業界標準描画機を使用しています。
1µm L/S

1µm L/S

2µm Checker

2µm
Checker

マスクの規格

基 盤 材 質 倍 率 対応装置
6×6×0.25inch 石英 1×, 2×, 2.5×, 4×, 5× Canon, Nikon, ASML etc.

その他各種基板に対応

最小寸法 最小寸法保証 位置精度 欠陥保証精度
0.5µm ±0.05µm ±0.05µm~ 0.5µm以上 0個~
お電話からのお問い合わせ・ご相談は 日本フイルコン フォトマスク事業部 営業部まで 042-378-4141 【受付】9:00-18:00(土・日祝日 休み)
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TFT用フォトマスク、有機EL向けフォトマスク、ムラのないフォトマスクは日本フイルコンへ

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