プリント基板や液晶・有機EL・タッチパネル等の表示デバイスに使用されている10インチ以上のフォトマスクです。
高解像で線幅均一性に優れた高精度描画機を使用しております。当描画機は特にスループットが優れていることから、業界内でも競争力のある納期と価格を誇っています。すでに様々な分野のデバイスメーカーに採用されており好評を頂いております。
サイズ | 3(板厚) | 4.8(板厚) | 7.8(板厚) |
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280×280(mm) | ○ | ○ | --- |
356×356(mm) | ○ | ○ | --- |
420×520(mm) | ○ | ○ | --- |
420×530(mm) | ○ | ○ | --- |
450×550(mm) | --- | ○ | --- |
508×610(mm) | --- | ○ | --- |
610×711(mm) | --- | ○ | --- |
609×813(mm) | --- | ○ | --- |
700×800(mm) | --- | ○ | --- |
※上記以外にも多数そろえております。お問わせ下さい。
※石英基板の規格は別途ご相談ください。
【石英またはソーダライム】
最大813mm×813mmまで製作
様々なご要望にお応えします。
【508×610mm】
【356×356mm】
マスクサイズ | 10"×10"~32"×32" (813mm×813mm) |
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線幅(L/S) | 5/5µm (3/3µm要相談) |
線幅精度 | ±0.3µm ~ |
トータルピッチ精度 | ±0.4µm ~ |
欠陥規格 | 5µm以下不問(要相談) |
保証エリア | 端面より10mmは保証外 |
規格は別途ご相談ください