スマートフォン、タブレット等の小型端末デバイスは、今や人間の生活に必須のアイテムです。私たちのフォトマスクは TFT-LCD, AMOLED （有機EL）, タッチパネル用途に利用されています。これらは非常に繊細なパターンにより構成されていますが、当社所有の描画機でパターンニングすることで、ムラがなく、ラインが滑らかで、位置精度の優れたフォトマスクを製作することができます。
中・小型TFT-LCD パネル/ 有機EL ディスプレイ/ 電子ペーパー/ 静電容量式タッチパネル/ etc
- ムラ低減の技術があります。
- コスト競争力があります。
- 各種大板マスクに対応しています。
- 業界標準描画機を使用しています。
1µm L/S
2µm
Checker
| 基 盤 | 材 質 | 倍 率 | 対応装置 |
|---|---|---|---|
| 6×6×0.25inch | 石英 | 1×, 2×, 2.5×, 4×, 5× | Canon, Nikon, ASML etc. |
| 最小寸法 | 最小寸法保証 | 位置精度 | 欠陥保証精度 |
|---|---|---|---|
| 0.5µm | ±0.05µm | ±0.05µm～ | 0.5µm以上 0個～ |
