半導体向けのフォトマスクとしてディスクリート、パワーデバイス、ASIC、マイコンなど、0.35µm ルールを中心として数多くのレチク ルの納入実績があります。2001年にOMEGA 導入後、日本フイルコンは積極的に設備投資を行なってきました。量産工場の品質を保証するだけの検査装置も充実しており、順調に実績を伸ばしています。
この業界では、コスト競争力が一層と必要とされるということを、私たちは十分理解しています。
お客様のものづくりのパートナーとして、是非一度お声かけください。
アナログIC / バイポーラ型IC / MPU / ディスプレイドライバ-用IC / ミックスドシグナルIC / バイポーラトランジスタ / ダイオード / パワーMOSFET / IGBT / etc
基 盤 | 材 質 | 倍 率 | 対応装置 |
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5×5×0.09inch | 石英 | 1×, 5× | Nikon, Canon, ASML, Ultratec etc... |
6×6×0.25inch | 1×, 2×, 2.5×, 4×, 5× |
最小寸法 | 最小寸法保証 | 位置精度 | 欠陥保証精度 |
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0.5µm~ | ±0.05µm | ±0.05µm | 0.5µm以上 0個~ |