CAD 工程、描画＆プロセス工程、検査＆測定工程、洗浄工程、ペリクル工程から構成されており、以下、工程順に説明します。
- ①CADデータとフォトマスク仕様書を受け取り後、製品仕様を確認して製作を開始します。
- ②お客様から頂いたデータは、CAD工程でパターンチェックされた後、データもしくはPDFなどの形式でお客様にて検図していただきます。
- ③承認後、製造ライン(描画工程)へ進みます。
- ④プロセスでは、現像～エッチング～レジスト剥離～洗浄～乾燥までの一連の作業を行います。
- ⑤パターンの寸法測定と外観検査を行います。
- ⑥全ての製品を出荷前に洗浄します。
- ⑦一部の製品はペリクルを貼り付け、直後に異物検査をします。
- ⑧仕様・規格・表面検査等、最終チェックをします。
- ⑨梱包・出荷
